¡Bomba de vacío y controlador turbomolecular ausentes! 2× Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC Calibrador compacto de cátodo frío PFEIFFER IKR 251 Válvula de ángulo de vacío VAT 26432-KA41-0001/0319 Válvula de vacío adicional de gran tamaño de IVA Gran conjunto de válvulas de alto vacío Hardware de Manipulación, Actuación y Procesos de Gases Sistema de actuación THC-8AWDS actuador lineal (400 mm de recorrido) Diversos sensores, incluyendo sensores de presión, temperatura y conmutación Varios actuadores, incluyendo válvulas solenoides y elementos calefactores Chasis CVD (SP-500 original, adaptado en 2011) Armario de control de flujo másico (incluido) Seguridad y protección de procesos RF y Entrega de Potencia RF DRESSLER – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz Unidad RFPP RF10S Advanced Energy MDX 500 (no funcional – no se enciende) RF Power AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz Fuente de alimentación TDK Lambda GEN40-125 Unidad de Control y Electrónica Controlador