Configurado con bomba + ordenador Características El horno ofrece la mayor tasa de aumento de temperatura, hasta 250 °C/s para obleas de 2 pulgadas. Rango de temperatura: temperatura ambiente hasta 1.250 ° C Tasa de aumento de temperatura de hasta 250 °C/s sobre un sustrato de silicio de 2 pulgadas de diámetro, 200 °C/s sobre 3 pulgadas. Capacidad de mezcla de gases con controladores de flujo másico. Rango de vacío: desde atmósfera hasta 10-2 Torr (10-6 Torr con turbobomba opcional). Control de temperatura por termopar con controlador digital PID rápido. Control completo del PC con software compatible con Windows.