El equipo incluye un sistema completo de vacío/CVD con su electrónica de control, componentes de vacío, bombas de alto vacío, fuentes de alimentación RF, actuadores y sensores. El chasis, fabricado originalmente en 1998, fue sometido a una importante mejora en 2011 con componentes más nuevos. El sistema se vende tal cual, para piezas o para reparación. El sistema no estaba completamente conectado y no tenía contraseña, lo que impide más pruebas. El sistema consta de los siguientes componentes principales: Componentes de vacío y bombeo Turbobomba ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M 2 aspiradoras Leybold CTR 90 CERAVAC Calibre compacto de cátodo frío PFEIFFER IKR 251 Válvula de ángulo de vacío TVA 26432-KA41-0001/0319 Válvula de vacío adicional de IVA de gran tamaño Gran conjunto de válvulas de alto vacío Sistema de actuación: Actuador lineal THC-8AWDS (carrera de 400mm) Diversos sensores, incluyendo presión, temperatura y conmutación Varios actuadores, incluyendo